چکیده …………………………………………………………………………………………………………………………………………………
|
1 |
فصل اول : ژیروسکوپ های میکرو الکترومکانیکی(میکرو ژیروسکوپها) MEMS |
|
1-1- مقدمه ای بر ژیروسکوپ های ارتعاشی MEMS ……………………………………………………. |
12 |
2-1 – گام های توسعه در تکوین ژیروسکوپ های ارتعاشی ……………………………………………….. |
15 |
3-1- تعریف مفاهیم بایاس، ضریب تبدیل، ضریب کیفیت و پهنای باند …………………………….. |
18 |
4-1- اصول عملکرد میکرو ژیروسکوپ ارتعاشی …………………………………………………………………..
5-1- ساختارهای معمول میکروجایروها ………………………………………………………………………………
6-1- تقسیم بندی ساختاری میکروجایروها …………………………………………………………………………
1-6-1- میکروجایروی ارتعاشی نقطهای (جرم متمرکز) ……………………………………………………..
2-6-1- میکروجایروی ارتعاشی دیسکی ………………………………………………………………………………
3-6-1- میکروجایروی موجی حلقوی …………………………………………………………………………………..
4-6-1- میکرو جایروهای ارتعاشی شاخهای …………………………………………………………………………
1-4-6-1- میکرو جایروی دیاپازونی …………………………………………………………………………………….
5-6-1- میکروجایروهای اپتیکی (نوری MOEMS) …………………………………………………………
1-5-6-1- میکروجایروهای نوری (لیزری) …………………………………………………………………………..
|
20
23
24
24
25
27
28
29
31
32
|
فصل دوم : تبیین فرآیند تحریک در ژیروسکوپ های ارتعاشی |
|
1-2- مقدمه ………………………………………………………………………………………………………………………… |
36 |
2-2- تحریک پارامتری ………………………………………………………………………………………………………… |
39 |
3-2- معادله ماتئو ………………………………………………………………………………………………………………… |
41 |
4-2- ویژگی های خاص تحریک …………………………………………………………………………………………. |
43 |
5-2- اصول مربوط به فرآیند تحریک ………………………………………………………………………………….. |
44 |
6-2- اصول مربوط به تحریک در ژیروسکوپ دیاپازونی ……………………………………………………… |
44 |
7-2- طراحی و تفهیم مدار تحریک حلقه بسته ………………………………………………………………….. |
46 |
8-2- سنسورها و مکانیزم های تحریک ……………………………………………………………………………….. |
50 |
9-2- مدل دینامیکی ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS انتخابی در این پروژه ………………………
|
54 |
فصل سوم : طراحی کنترلر PD مد تحریک یک ژیروسکوپ MEMS برای تخمین سرعت دورانی |
|
1-3- مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………. |
59 |
2-3- کنترلر PID ……………………………………………………………………………………………………………….. |
59 |
3-3- طراحی کنترلرPD برای کنترل موقعیت دو محوره یک ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS ………………………………………………………………………………………………………………………………. |
61
|
4-3- تخمین پارامتر ها به روش حداقل مربعات بازگشتی …………………………………………………. |
62 |
5-3- قضیه تحریک پایا ………………………………………………………………………………………………………..
|
65 |
فصل چهارم : کنترلر تطبیقی مدل مرجع بهبود یافته برای کنترل ژیروسکوپ MEMS |
|
1-4- مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………. |
67 |
2-4- کنترلر تطبیقی …………………………………………………………………………………………………………… |
71 |
1-2-4- کنترلرتطبیقی مدل مرجع(MRAC) .…………………………………………………………………. |
74 |
3-4- کنترلر تطبیقی مدل مرجع بهبود یافته ……………………………………………………………………..
فصل پنجم : نتایج شبیه سازی
|
76 |
1- 5- کنترلر PD ……………………………………………………………………………………………………………….. |
85 |
2-5- کنترلر تطبیقی مد لغزشی با استفاده از صفحه لغزنده تناسبی و انتگرالی ……………….. |
93 |
3-5- کنترلر تطبیقی مدل مرجع بهبودیافته ………………………………………………………………………
|
97 |
فصل ششم : جمع بندی مطالب و نتیجه گیری و پیشنهاداتی برای مطالعات آینده |
|
1- 6- جمع بندی مطالب و نتیجه گیری ……………………………………………………………………………. |
104 |
2-6- پیشنهاداتی برای مطالعات آینده ………………………………………………………………….
|
106 |
مراجع …………………………………………………..………………………………………………………………………….. |
107 |